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表面差异的工作原理是在两个输入表面的三角形之间进行几何比较。根据与第二个（参考）表面的相对位置，第一个表面中的三角形分为以下三类：完全位于参考表面之上、完全位于参考表面之下、与参考表面相交。如果检测到交点，则会将三角形细分为若干部分，并归类为在另一表面上方、在另一表面下方或与之共面。具有相同分类的相邻三角形和三角形部分将组成面，其体积将进行加总以便为其中的每一个面提供一个总和。随后会将该信息写入输出面要素类。
当在两个输入表面之间进行几何比较时，可通过使用约束型 Delaunay 三角测量构造差异表面。该表面的 z 值表示输入表面之间的高度差。在输入表面具有重合值的位置，Z 值为 0.0。正值表示第一个表面位于第二个（参考）表面之上的区域，而负值表示第一个表面位于第二个表面之下的区域。
当请求差异栅格时，该工具会使用线性插值法将三角化差异表面转换为栅格。
如果指定输出一个 TIN 文件夹，则三角化差异表面将以 TIN 形式写入指定的工作空间。如果生成的表面包含过多的需要 TIN 存储的节点，则该工具可能会输出多个 TIN。